Интерференционная микроскопия субнанометрового разрешения по глубине

Г. Н. Вишняков1, Г. Г. Левин1, В. Л. Минаев1, И. Ю. Цельмина2

1 ФГУП «ВНИИОФИ»
2 ОАО «РПЗ»

Измерение параметров шероховатости супергладких поверхностей,
микрорельеф которых составляет единицы ангстрем, является одной из
главных задач в области метрологии средств измерений длины. Получение
супергладких поверхностей необходимо, в первую очередь, в оптической
промышленности, например, для изготовления зеркал лазерных
гироскопов.

Вишняков, Г. Н. Интерференционная микроскопия субнанометрового разрешения по глубине / Г. Н. Вишняков, Г. Г. Левин, В. Л. Минаев, И. Ю. Цельмина // Мир голографии. — 2013. — Том 1. — № 1. — С. 157–159.

Скачать статью | Том 1, №1 (2013)