Синтез голограмм-проекторов сфокусированного изображения для фотолитографии

С. Н. Корешев, И. Н. Корепин

Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет
информационных технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург,
Россия

Рассмотрена проблема синтеза голограмм-проекторов сфокусированного изображения, работающих совместно с объективом невысокого качества. Сформулированы и научно обоснованы рекомендации по выбору параметров синтеза и отображения голограмм, определяющих качество восстанавливаемых с их помощью изображений.

Корешев, С. Н. Синтез голограмм-проекторов сфокусированного изображения для фотолитографии / С. Н. Корешев, И. Н. Корепин // Мир Голографии. — 2016. — Том 2. — № 1. — С. 88–103.

Скачать статью | Том 2, № 1 (2016)